어닐링-상태 니오븀 큐브란 무엇인가요?
어닐링된- 상태의 니오브 큐브와 관련하여 냉간 가공 및 절단 후 니오브 큐브는 절단 내부 응력, 격자 전위, 수소-산소 흡착 불순물 등을 대량으로 유지합니다.
이 문제를 해결하고 이러한 문제를 제거하기 위해 니오븀 큐브를 어닐링-상태 처리합니다. 어닐링된-상태 니오브 큐브는 고진공/고{3}}순도 수소 분위기에서 800~1250도 고온-온도 유지 열처리, 느린 온도-제어 냉각을 거쳐 응력 완화, 재결정화, 진공 탈기, 표면 환원 및 산화물 제거의 4가지 공정을 완료한 후 연질-상태 증발 물질이 되는 완성된 큐브를 의미합니다. 이는 어닐링되지 않은 냉간-경화 상태 니오븀 큐브와는 달리 OLED, 광학 및 고급 반도체 증착 코팅용으로 지정된 등급입니다.
표준 어닐링 공정(진공 코팅 등급 어닐링 큐브)
1. 분위기: 진공 어닐링(1×10⁻³ Pa 이상) 또는 고-순도 수소 광휘 어닐링. 고온에서 산소 흡수 및 산화를 방지하기 위해 공기로부터 격리
2. 온도 범위
◦ 응력 제거 어닐링: 800~900도, 절단 응력 제거, 표면 흡착된 수소 및 수증기 제거
◦ 완전 재결정 어닐링: 1050~1300도, 입자 크기 미세화, 격자 불순물 완전 방출
3. 공정: 고온- 유지 → 온도 변화도 제어 서냉 → 용광로에서 실온까지 냉각 → 탈지 및 세척 → 진공 밀봉 포장
어닐링된 니오브 입방 코어의 장점(진공 코팅의 문제점 해결)
1. 캐비티 가스 배출량이 극히 적어 내부 가스를 완전히 제거하여 높은 진공 안정성을 보장합니다. 니오븀의 냉간 가공 중에 내부 격자는 H2, N2 및 미량의 수증기를 유지합니다. 전자빔 고온- 충격 중에 지속적인 가스 방전이 발생하여 캐비티 진공 수준의 변동과 핀홀, 헤이즈 및 필름의 색상 차이가 발생합니다.
고온 어닐링을 통해 심층 탈기가 완료됩니다. 다량의 수소, 흡착수 및 침입형 불순물 가스가 방출되어 진공 증발 공정의 최대 탈기체를 크게 줄이고 안정적인 공동 진공을 유지하며 다층 광학 필름 및 반도체 장벽층의 수율을 크게 향상시킵니다.-
2. 절단 잔류 응력을 제거하고 고온 증발 중에 균열이나 튀는 현상이 발생하지 않습니다-. 어닐링되지 않은 저온-경화 니오븀은 내부 응력을 집중시켰습니다. 전자빔에 의한 국부적인 고온- 가열 중에 응력이 방출되어 입자 균열 및 잔해물 튀김이 발생하고 도가니와 기판이 오염되어 필름 두께가 급격하게 변화하고 타겟 재료 손실이 가속화됩니다. 어닐링 후 격자가 재구성되고 응력이 완전히 해제되어 재료가 더 부드럽고 연성이 높아집니다. 장기간의-고온-온도 전자빔 충격 하에서 전체 재료는 균열이나 조각화 없이 균일하게 가열되며 증발 속도는 선형적으로 안정적이며 일관된 반복성과 필름 두께의 일관성이 있어 연속 패널 생산 라인에 적합합니다.
3. 표면 산화층을 제거하여 필름의 산소 불순물을 줄입니다. 실온에서 니오븀은 미량의 Nb2O₅ 산화물 층을 쉽게 형성합니다. 어닐링되지 않은 원료 증발은 산화물의 동시 증발을 유발하여 금속 니오븀 필름의 과도한 산소 함량과 전도성 감소를 초래합니다. Nb²O₅ 광학 필름을 제조할 때 굴절률 변동과 스펙트럼 이동이 발생합니다. 수소 어닐링은 표면 산화물 층을 복원할 수 있고, 진공 어닐링은 표면 산소를 기판으로 균일하게 확산시켜 유리 산화물 층이 없는 깨끗한 표면, 증발된 필름의 제어 가능한 불순물 함량, 광학 매개변수 및 전도성 매개변수의 강력한 배치 일관성, 고정밀 광학 코팅 및 반도체 필름 증착에 대한 적합성을 제공합니다.-
4. 균일한 입자 미세화, 균일한 열전도, 안정적이고 제어 가능한 증발 속도. 저온-처리된 니오븀 입자는 왜곡되고 크기가 고르지 않으며 국지적 열 전도에 상당한 차이가 있습니다. 전자빔 충격 중에 국지적인 과잉- 용융 또는 증발 부족이 발생합니다. 어닐링 후 재결정이 완료되어 입방체 입자의 열전도도가 균형 잡힌 등축 미세-입자 구조가 형성되고 도가니의 전체 재료 배치가 동시에 기화되므로 전자 빔 출력을 자주 조정할 필요가 없고 공정 디버깅 비용이 절감되며 고정밀 광학 코팅 및 반도체 필름 증착에 적합합니다.-
5. 고온-크리프에 강하고 장기간 증발 중에 붕괴되거나 변형되지 않습니다.- 어닐링된 니오븀은 가소성을 향상시키고 고온-온도 구조 안정성을 강화했습니다. 도가니는 -장기적인 고온-온도 유지 후에도 부드러워지거나 붕괴되거나 덩어리가 형성되지 않으며, 충전 밀도는 변하지 않고 유지되어 재료 보충을 위한 기계 가동 중지 시간의 빈도를 줄이고 생산 라인 활용률을 향상시킵니다. 경질 니오븀에 비해 연속 증발 수명이 30% 이상 늘어납니다.
로드, 플레이트, 큐브 또는 특별한 요구 사항이 있는 도면과 관련하여 위의 어닐링된 니오브 제품이 있는 경우 당사에 문의하십시오.
